Jetzt doch früher als gedacht: Intel betreibt erstmals produktiv ein Lithografie-System der nächsten Generation. Quelle: https://www.heise.de/news/Chip-Lithografie-High-NA-EUV-erstmals-im-Produktiveinsatz-11366348.html?wt_mc=rss.red.ho.ho.rdf.beitrag.beitrag