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EUV-Lithografie: Chinesischer Hersteller zeigt eigenen Laser-Prototyp
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EUV-Lithografie: Chinesischer Hersteller zeigt eigenen Laser-Prototyp
«
am:
19.10.2026, 16:18:48 »
Langdao Silex will aufwendige Laser für chinesische EUV-Lithografie-Systeme herstellen. Die Serienreife ist allerdings noch fern.
Quelle:
http://www.heise.de
Stichworte: ASML, China, EUV-Lithografie, Halbleiterindustrie, Laser, Plasma, Trumpf, Wirtschaft
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